韩文韬从滨城返回蜀汉市,也没时间闲着。
手里事情和项目,也不允许他闲下来。
“宋海山,多重曝光技术,你带人去做……”
“李文、钼硅多层反射膜配方、光刻胶、靶材、硅片你带人去搞吧……我亲自给你提供帮助和设备!”
“锡滴等离子光源结构的研究,真空运动台结构,掩模缺陷检测,周守军你来负责!”
“所有的项目,我会让【北辰半导体】派人过来帮忙帮忙!”
“和之前一样,所有的研究成果,第一时间围绕相关成果,将能申请的专利……全部申请了,构建专利壁垒!”
“这……好的老板!”
宋海山、李文、周守军他们三人,是最早加入前沿科学实验室的人。
也是涂明院士推荐过来,能力和身份都没有问题。
值得信赖的人。
之前‘人造金刚石’核心成果和论文,就是他们解决的。
电池领域论文也是如此。
只是没想到,这次‘老板’回到实验室……就弄了好几个项目下来。
这次不再是根据韩文韬的研究成果,去逆推相关实验过程、收集数据、写论文!
而是直接管理项目!
还是多个项目!
甚至有些项目,和他们自身学习和研究领域,没有太大关联。
可这又有什么关系呢?
‘老板’都说了……会找专业人士过来帮忙。
甚至‘老板’会亲自出手!
说是给他们弄了几个项目……实际上,真正管理的人,还是——韩文韬。
跟着韩文韬干就完事了!
韩文韬这是准备抢占EUV光刻机的相关专利。
从滨城回来,和邱云沟通的时候,韩文韬就想着:能不能直接去搞EUV光刻机?
难度肯定是有的!
但是对于他来说……资金不是问题,持续投入资金,加上【原子重组】的能力,是完全可以的。
不管能不能行,先把专利占着。
阿斯麦和米帝EUV联盟,目前也在研究和推进EUV光刻机。
韩文韬需要将专利先抢下来!
避免EUV光刻机领域的专利,被阿斯麦和EUV联盟锁死。
虽然韩文韬有【原子重组】的能力,绕开一些专利还是没问题的……可【原子重组】能力也不是万能的。
总有一些专利是没办法都绕开的。
如此,先把EUV专利的坑占着,未来说不定能和阿斯麦、米帝EUV联盟交换专利授权。
不交换?
韩文韬把EUV专利抢先后,阿斯麦和EUV联盟就得想办法绕开这些专利。
不说能不能绕开吧!
为了绕开这里,有需要投入多少资金?多少时间?
能延迟EUV光刻机研发进度和速度。
阿斯麦和EUV联盟的研究速度和进度越慢……在韩文韬带领下,大量资金投入进去,已经国内顶尖团队研发能力,比阿斯麦先掏出EUV光刻机。
完全有可能!
“谢谢周院士,感谢……”
韩文韬除了从邱云那里,摇来懂光刻机的研发人员,协助研究攻克:多重曝光技术、工作台等技术。
还动用自己人脉的力量,从沪海光电所、科学院光电所、长光所,摇来了几个对光源有研究的专业人士。
现在韩文韬的人脉,也是相当强。
国内顶尖的科研人员,院士这一级的众人,大家多多少少都有些交集。
韩文韬就是不认识光学领域的顶尖大佬、院士。
也可以打听一下……牵个线就能联系上。
这个人脉,就是在院士中……韩文韬都算得上:人脉强大!
这次摇人……是为了解决光源问题!
在90年代,长光所专注于EUV/x射线成像技术,在EUV光源、超光滑抛光、EUV多层膜等核心技术上均有布局。
沪海光电所,也是东大最早、规模最大的激光专业研究所,在激光光源技术方面有深厚积累。
科学院光电所,在光源、激光控制等领域,都有强大的技术积累。
这些集合起来,加上韩文韬大量资金投入。
再以【原子重组】的能力,制造出无缺陷的单晶氟化钙,解决深紫外激光的核心晶体,能让激光的透过率和稳定性达到要求,解决光源问题是轻松松。
光学镜头,也可以使用【原子重组】的能力,消除石英玻璃内部的气泡和应力,不断逆推出硅和氧原子的精准排列,制造出非球面镜片,解决球面像差问题。
光源系统、物镜系统解决了!
工作台,无非就是稳定性问题。
这个技术在五轴机床上就有应用……韩文韬当初弄出来的磁悬浮技术,除了想解决机床稳定和精度!
也是考虑用在光刻机领域!
只不过……芯片算力不够,磁悬浮技术只能暂时放哪里。
光刻机工作台稳定系统是有基础的,也不是问题。
实在不行韩文韬也会出手!
而且,他又不是要短时间内造出EUV光刻机,而是要抢占专利!
三五年能把样机造出来,10年内真正投入商用,都比阿斯麦快!
当然,也不用和阿斯麦比快……10年后的芯片发展已经非常快,国内有EUV光刻机兜底,最少不用担心,设计出顶尖芯片,却没办法生产出来。
几个研究所的人过来蜀汉市,基本都是安排在年后。
现在已经1月底。
2月11号过年。
所以韩文韬也说了,过年之后再过来。
反正也不是很着急。
韩文韬自己,则是先把‘硅片’的问题解决了。
满足晶圆厂自己生产8英寸和12英寸硅片的问题。
否则,8英寸、12英寸硅片都需要进口。
12英寸贵不说,属于目前全球最先进的技术,还不一定能买到!
硅片不禁运,毕竟只是制作成晶圆、制造芯片用的。
核心还是光刻机等设备,决定芯片的制成。
晶圆之处决定产量和成本。
买不到12寸晶圆的原因是海外产能也不高。
“请问是韩文韬同学……我们这边是内阁国奖工作办公室的……现邀请您于2002年2月1日,到燕都——大会堂参加‘国奖’颁奖典礼!!”
韩文韬在前沿科学实验室,忙着抢占EUV专利,解决硅片自产的问题。
接到了一个陌生的电话。
来自燕都的座机号码!
韩文韬在听到‘内阁国奖工作办公室’几个字的时候,大脑也是微微一震,手上的研究立刻就放下了。
认真听对方工作人员宣读这次典礼的基本要求。
时间是2月1日。
和船舶集团领导说的一样。
要求其实不多,常规不能携带的物品、要求正装、穿着得体……还提到,如果有身体不适、或者行动不便、有什么特殊要求,可以提出来。
国奖工作办公室会想办法解决。
这些韩文韬当然是没有的。
他只需要穿着得体前往燕都,准时去大礼堂参加典礼就行。
当然,还会发一份邀请函过来。
询问了韩文韬的地址!
像能出席这种典礼的人,基本都是顶尖学者,谁也不知道会在哪里搞研究。
如果国奖办公室早一些时间联系韩文韬……说不定还联系不上。
但是作为国奖办公室,不能直接联系到韩文韬,还能通过其他方式和渠道联系到韩文韬并不难。
几日后,一封大红色的烫金邀请函,由蜀省省府官方工作人员,送到韩文韬手里!
——来自2002年,燕都大会堂,国奖颁奖典礼的邀请函!