“EUV光源也已经有突破了?”
韩文韬还真不知道这点。
他是看到【北辰半导体】晶圆厂的制程工艺,突破90nm,而且已经在追下一代:65nm工艺。
一旦追上!
那代表着,【北辰半导体】在芯片制程工艺上,将完全不落后世界其他晶圆厂。
无论三星、台电!
甚至以韩文韬对【北辰半导体 】的投入、支持力度……反超三星、台电,在制程工艺上,领先全球都不是没问题。
没想到,来【北辰精密】光刻机研究项目,还听到了更好的消息:EUV光刻机,已经有突破了!
“对,EUV激光器,我们已经弄出来了……就是有点不美观、很粗糙。”
“稳定性和精度,更是没法看!”
“物镜方面,精度也达不到,还在继续攻坚……”
光源团队、物镜团队,几个负责人都表示,EUV非常难。
也带韩文韬去看了第一代,EUV的激光器。
纯力大砖飞!
靠着大尺寸人造金刚石散热,强行弄出来的EUV激光器。
靠着大尺寸人造金刚石提升了八九倍散热,强行提升功率……想要实现EUV光刻机以每秒5万次(50khz)的频率,精准轰击直径仅约30微米(比头发丝还细)的锡液滴,将其转化为等离子体并辐射出EUV光。
这个稳定性和精度,那是不用想的!
“可以!即便是大力飞砖,有这样一个原型,后面继续改进、优化就行!”
韩文韬对这个初代EUV大功率激光器,并不觉得失望。
激光器启动,只能击中一次锡液滴,将其转化为等离子体并辐射出EUV光。
想要每秒5万次(50khz)的频率连续击中锡液滴?
难!
但是能解决光源问题,其实就已经解决了最核心的重要问题!
已经是非常、非常、非常大的进步。
未来,只需要继续优化激光器,提升稳定性和精度就行。
至于说物镜系统?
平面精度比头发丝直径还要细几百万分之一,反射率70%的布拉格反射镜。
这个即便是【北辰精密】的纳米磨料,想要做到这种精度,也不是那么简单的。
靠机器是做不到的。
【北辰精密】的精密打磨、抛光设备,再强、再精密!
也达不到这种精度!
这种精度的物镜,只能手工完成!
目前,长光所、科院光电所,几个老师傅已经过来,开始带队,每天醒来第一件事就是做布拉格反射镜!
不断失败!
不断失败!
慢慢向成功靠近!
这方面,韩文韬【原子重组】的能力也没办法。
光刻机的物镜,不可能靠他来手搓吧?
必须要能自主生产!
只能靠人工慢慢打磨。
用纳米磨料,不断打磨、抛光……培养手感。
这是真·大国工匠!
“韩教授,据我们所知,徕卡目前的经营情况似乎不是很好……”
“我们光刻机物镜方面,用的上他们的技术!”
“而且,我们之前还帮【北辰科技】手机镜片提供了一些技术,我觉得你可以考虑一下,拿下徕卡部分股份,对我们很有用!”
长光所这边过来的负责人,这时候开口提了一件事!
徕卡!?
韩文韬知道蔡司是光刻机光学系统供应商,镜片研磨精度达原子尺度,这项技术一直都没有替代方案。
对于徕卡,韩文韬知道在摄影技术也非常厉害。
他们的光学设计和镀膜技术,对手机镜头、光刻机镜头有极大价值。
其实仅仅是对手机镜头有巨大帮助,就可以考虑收购了。
“我让人去了解一下,如果没问题,就把徕卡收购了!”
韩文韬甚至都不用去了解徕卡现在值多少钱。
就能直接说出:只要没问题,就能收购下来。
就是不差钱!
刚才长光所过来的负责人也说:徕卡经营情况不好,价值必然大大降低!
即便徕卡巅峰时期,韩文韬也买得起!
更何况,韩文韬听徕卡经营不善,就基本猜到原因了。
数码时代!
目前,摄影已经进入数码时代。
徕卡经营不善,大概率是受到数码时代冲击,没有跟上数码时代的步伐。
这就像诺基亚、摩托罗拉这种巨头,没有跟上智能手机时代的发展步伐。
“EUV光刻机的研究,需要继续加大力度……我现在要的,不是尽快看到EUV光刻机!”
“我要的是专利!!”
dUV光刻机的未来能做到7nm,多重曝光技术做到5nm工艺。
EUV光刻机并不着急!
未来有10几年的时间,可以慢慢研究,时间充裕!
韩文韬要的是:专利!
“韩教授放心,EUV光刻机领域,从大功率激光器各方面技术和解决方案、光源、抛光、镀膜、全套物镜系统、光学系统、以及工作台等技术,所有技术专利都申请了全球专利!”
“目前已经积累了数百项专利!”
“其中核心专利,已经有几十项!”
“我们在EUV光刻机领域,绝对是走在全球第一梯队,即便阿斯麦和EUV联盟,也不会比我们快多少!”
“他们的专利,可能会对我们造成一些限制,但同样的……我们也掌握了几十项核心专利,数百项专利,他们也不可能绕开!”
在EUV光刻机领域,【北辰精密】已经走在全球第一梯队。
和阿斯麦、EUV联盟,处于第一梯队。
阿斯麦和EUV联盟不知道比【北辰精密】快,还是比【北辰精密】慢!
反正现在查公开的专利,阿斯麦和EUV联盟,不会比【北辰精密】快多少。
在专利上,或许能对【北辰精密】造成影响。
但是同样的,【北辰精密】EUV专利,也能限制阿斯麦和EUV联盟。
后续即便是专利战,也能达成互相授权,否则:没人能绕开谁。
甚至……有韩文韬出手,还有十几年的时间,EUV光刻机才会投入使用。
这么长时间,最终的可能是:【北辰精密】绕开阿斯麦和EUV联盟的专利。
彻底锁死阿斯麦和EUV联盟。
除非EUV联盟和阿斯麦,也能绕开【北辰精密】的专利。
就韩文韬的行事风格,他要是出手,几乎不可能给对手绕开专利的机会。
叮嘱【北辰精密】光刻机团队,第一时间抢注EUV专利。
韩文韬离开【北辰精密】,第一时间打电话徐志军,让他对徕卡进行背调。
同时,查找德国相关法律条款……看看收购徕卡,不会遇到一些法律上的问题?
如果没问题,就制定对徕卡的收购方案。
拥有最完美、最大概率的方式,将徕卡收购了。
收购徕卡,对光刻机项目有一定的帮助。
对【北辰科技】手机项目,也有巨大的帮助和加持!
这个收购,是值得付出代价的!
钱不是问题!
只要能完成收购就行!